INFICON SKY CDG100D

INFICON SKY CDG100D 真空计是高精度总压强测量为达到优异的半导体和等离子过程要求的性能,

将CDG100D 真空计的温度控制于100°C. 全量程范围从100 毫乇 至 1000 乇,

配有全部常用的法兰型式和 fieldbus 接口, 和提供线性的 0 至 10 伏与气体类型无关的压强讯号.

INFICON 电容 真空计采用超纯的氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好, 从大气压恢复快, 预热时 间短使用寿命.

INFICON CDG 是高质量, 成本效益好的压强传感器, 用于半导体, 等离子和各项 要求高的真空应用中.

优点：

1.低 CoO (拥有成本), 50% 快速预热, 能效高, 功耗低 2.易整合于系统中, 宽量程范围, 法兰和接口, 标准型号带有两个设点

3.简易的一键操作或遥控讯号调零指令, 零点偏离可调 4.诊断端口用于快速检修和维护

5.两年保用期, 采用先进的加热概念和传感器保护, 真空计使用寿命长

6.由于的讯号稳定性和可重复性, 即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用, 7.重新校准 8.承诺和标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

用途： ■ 刻蚀, PVD, CVD和其它半导体生产过程 ■ 化学和腐蚀性高温过程 ■ 需要真空计保护的常用薄膜和真空过程.

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